반도체 선폭이 줄어들면서 Error라고 생각되던 것들이 중요한 이슈가 되어진다. 마이크로 세계에서 나노의 기술로 들어갈 때 Error Term에 대한 고민이 시작된것이다. 마이크로에서는 좋은 장비를 사서 찍으면 Litho는 진행이 가능하였다. 반도체를 만들기 위해서는 여러공정이 있다. 포토라는 공정과 에칭이라는 공정이 있다. 다른 많은 공정이 있지만 반도체